Инспекционный микроскоп ADF C150

Описание

ADF C150 – инспекционный микроскоп для микроэлектроники

ADF C150, С200 и С300 – инспекционные микроскоп для исследования кремниевых пластин и фотошаблонов. Отличия линейки в размерах стола.
С150 – 150 мм (изучение фотошаблонов, либо кремниевых пластин до 6″),
С200 – 200 мм (изучение фотошаблонов, либо кремниевых пластин до 8″),
C300 – 300 мм (изучение 12″ кремниевых пластин)

Оснащены большим предметным столом для работы в проходящем и отраженном свете, поляризацией, ДИК контрастом. Поле зрения окуляров до FN26. Микроскоп ADF C150 оснащается план-полу апохроматическими объективами, обеспечивающими разрешение до 0,2 мкм при увеличении 100х, столиками для кремниевых пластин до 6” с диапазоном перемещения 158×158 мм по XY, с рукояткой для быстрого и высокоточного перемещения.

Микроскопы ADF линейки C – модели C150, C200 и C300 созданы для проведения высокоточного измерительного контроля фотошаблонов и кремниевых пластин. Могут быть внесены в реестр СИ, как комплексы программно-аппаратные анализа микроструктуры поверхности в составе с камерой и измерительным программным обеспечением. К микроскопу вы можете подключить цифровую камеру с программным обеспечением для проведения измерений топологии исследуемых объектов, к примеру, камеру ADF PRO20 – 20ти мегапиксельную камеру с передачей живого изображения до 60 кадров в секунду.

Топология кремниевой пластины. Микроскоп ADF C150 с камерой ADF PRO20, светлое поле. отраженный свет, поляризационный фильтр. Увеличение 200 крат

ADF C150 – эргономика, удобство работы при операциях контроля

Широкопольный тринокулярный тубус прямого изображения с изменяемым углом наклона окулярных трубок

Тубус прямого изображения позволяет ориентировать изображение исследуемого объекта в окулярах согласно его геометрическому  расположению на предметном столе. Изображение не перевернутое, позволяет проводить моментальный поиск заданной области на кремниевой пластине. Позволяет также синхронизировать по фокусу изображение на камере и в окулярах не теряя при этом интенсивность на призмах деления светового потока. Поток переключается, на камере не приходится завышать значения светочувствительности.

Конструкция микроскопа, оптика, разрешение, методики контрастирования

Штатив инспекционного микроскопа ADF C150

Штатив микроскопа ADF C150 обладает низким центром тяжести, позволяет погасить вибрации передающиеся от технологического оборудования на оптические части микроскопа через поверхность рабочего стола на котором установлен микроскоп. Столик микроскопа обладает механизмом “Clutch” для быстрого перемещения между размеченными областями пластины, а также для тонких перемещений по осям XY в пределах кристалла.

Инспекционные объективы для решения различных задач

Высококачественные металлографические планахроматические или план-полу апохроматические объективы для работы в светлом/темном поле обладают повышенным рабочим расстоянием и четким изображением по всему полю зрения. Если вам необходима работа с кремниевыми пластинами рекомендуем остановиться на план-полуапохроматических объективах с максимальным разрешением, а в случае работы с декорпусированными компонентами – на план-ахроматах с увеличенным рабочим отрезком для работы внутри корпуса исследуемой микросхемы.

Объективы с увеличенным рабочим отрезком позволяют наблюдать декорпусированные объекты, а также кристаллы распаянные на корпус.

Методики контрастирования, источники света

Микроскоп ADF C150 оснащен галогенным осветителем 12V/100W с регулировкой интенсивности света, переключателем между светлым и темным полем для отраженного света и светодиодной подсветкой для работы с фотошаблонами в проходящем свете.

Изображение кремниевой пластины в светлом поле (BF) и Дифференциально-интерференционном контрасте (DIC). Рельефный контраст позволяет визуализировать топографию поверхности объектов, подсвечивая различные дефекты и придавая изображению объекта объем

С функцией наблюдения объектов в темном поле, а также поляризационной методикой исследования и ДИК контрастом, оператор может визуализировать царапины, неметаллические включения, трещины и другие дефекты поверхности образца. ДИК призма позволяет проводить визуальный контроль с рельефным контрастом на увеличении 100х, 200х и 500х. Призма универсальная для трех объективов.

Вейфер. Кремниевые пластины бывают различного диаметра. Широкое распространение получили пластины диаметром 4, 6, 8 и 12 дюймов. Микроскоп ADF C150 позволяет работать с пластинами до 6 дюймов. Для пластин большего диаметра в линейке есть микроскопы C200 и C300.	ДИК. Контактная площадка. Увеличение 500 крат, дифференциальный контраст. ДИК позволяет увидеть равномерность и качество поверхности контактной площадки.
Наноразмер 2 (акцент на 0,35 мкм). Микроскоп ADF C150 обладает высоким разрешением и позволяет проводить инспекцию топологий вплоть до 0,35 мкм. Детали различимы, структура отчетливо просматривается.	Светлое поле. Контактная площадка

ADF C150, C200, C300 – Краткие характеристики

• Отраженный свет, светлое/темное поле, DIC, поляризация. Проходящий свет для работы с фотошаблонами.
• Металлический штатив высокую жёсткость и устойчивость.
• Столик 6″, 8″ или 12″ с возможностью быстрого позиционирования микроскопа.
• Металлографические объективы 5х, 10х, 20х, 50х, 100х
• Тринокулярный тубус с выходом на камеру. Окуляры до FN26, прямое изображение.
• Светодиодный или галогенный источник света, возможность установки различных фильтров изменяющих цветовую температуру.

E300 и С150 в лаборатории. Микроскопы ADF серии E300 и C150 применяются в лабораториях для контроля качества кристаллов и кремниевых пластин. Обе системы реализуют методики светлого и темного поля, опционально поляризации и ДИК контраста.