Конфокальный микроскоп ADF M500

Описание

ADF M500 — измерительно-исследовательская высокоточная конфокальная система для материаловедения и микроэлектроники

Конфокальный микроскоп ADF M500 применяется для измерений на микро- и нанометровом уровне различных прецизионных компонентов, деталей и поверхностей материалов. Его преимущество перед обычным световым микроскопом заключается в применении конфокальной оптической системы, что позволяет создавать тончайшие оптические срезы и непревзойдённый контраст. Система является мощным инструментом анализа поверхности, благодаря прецизионными модулями сканирования в направлении Z и алгоритмами 3D-моделирования.

ADF M500, выполняя функции оптического профиломера, способен измерять поверхность различных объектов от гладкой до шероховатой, с любой степенью отражательной способности. Всего более 300 видов 2D и 3D параметров в соответствии с основными международными стандартами ISO/ASME/EUR/GBT — могут быть выведены в отчет в качестве оценочных критериев.

Программное обеспечение системы выполняет обработку данных, анализ трехмерного изображения поверхности образца, а также расчет двухмерных и трехмерных параметров, которые отражают качество поверхности. Тем самым реализуется инструмент оптического контроля и трехмерное измерение топографии поверхности исследуемого объекта.

ADF M500 незаменим:

• в отраслях сверхточной обработки (производство полупроводников, различной упаковки, сенсорных панелей, прецизионных аксессуаров);
• для контроля процессов оптической обработки и микроэлектроники;
• в производстве микро/наноматериалов, автомобильных деталей и устройств MEMS
• в аэрокосмической и военной промышленности, НИИ;

и др.

Основа конфокальной микроскопии заключается в применении специальной точечной диафрагмы (или вращающегося диска, как в ADF M500), располагающейся в плоскости изображения. Это позволяет отсекать внефокусное рассеянное излучение от образца, исходящее не из фокальной плоскости объектива. Подобное отсечение формирует тончайший по сравнению с классической широкопольной микроскопией оптический срез. В этом тонком срезе сосредоточена информация только о нем самом, поскольку отсутствует влияние «паразитной» засветки по всей глубине/высоте образца. Получаемая серия изображений на различных глубинах затем реконструируется в 3D-модель высокого разрешения и контраста.

Функции ADF M500

1. Измерение размера и шероховатости контура/поверхности, характеризующих микроскопическую морфологию.
2. Автоматическая сшивка, позволяющая быстро выполнять объединение множества полей зрения на большой площади и проводить на ней измерения.
3. Встроенное программное обеспечение для измерения и анализа. Параметры конфигурации предварительно устанавливаются перед измерением. Программное обеспечение автоматически подсчитывает данные измерений и выводит результат в виде отчета, что позволяет проводить пакетные измерения.
4. Четыре модуля обработки данных: настройка положения, коррекция, фильтрация и извлечение.
5. Пять основных функций анализа: анализ шероховатости, анализ геометрического профиля, анализ структуры, частотный анализ и функциональный анализ.
6. Вспомогательные функции анализа: анализ в один клик, анализ пакета файлов и многие другие, что позволяет ускорить и повысить эффективность измерений.
   

   Измерение высоты ступеньки/перепада высот

Области применения

Измерение и анализ профиля и дефектов поверхности, износа, коррозии, плоскостности, шероховатости, волнистости, пористости, высоты ступеней, деформаций изгиба, условий обработки и других особенностей морфологии поверхности различных изделий, компонентов и материалов.

Полупроводниковая пластина с нанесенной микросхемой	Массив микролинз
Конические отверстия	Поверхность алмазного сверла

Непревзойденная точность и повторяемость измерений

1.Измерительная система создана на основе вращающегося диска Нипкова. В сочетании с прочной конструкцией и превосходным алгоритмом трехмерной реконструкции обеспечивается высокая точность измерений прибора.

2.Микроскоп стабилен и надежен в шумной среде и имеет хорошую повторяемость измерений.

Прецизионный пуль управления 3. На консоль управления выведены основные рукоятки для предварительного позиционирования (смещение X, Y и фокусировка Z). Кроме того, кнопки на пульте позволяют мгновенно переключаться между режимами и скоростью фокусировки, а также регулировать интенсивность света

Двойная защита от столкновений

4. В программе предусмотрена функция ZSTOP, которая устанавливает нижний предел допустимого перемещения по оси Z для защиты от столкновений объектива с образцом. Кроме того, если линза объектива коснется поверхности образца, электронно-механический датчик автоматически переводит микроскоп в состояние аварийной остановки, защищая компоненты микроскопа и сам образец от повреждений.