Прямой микроскоп ADF E300M
Исследовательская система ADF E300M с возможностью работы только в отраженном (RL) или отраженном и проходящем свете (RL/TL). Возможность установки объективов различных классов коррекции для достижения необходимого качества изображения. Работа в светлом и темном поле, реализация DIC-контраста, поляризации. Идеально для изучения декорпусированных деталей, а также задач материаловедения. Тринокулярный тубус с цифровой камерой. Увеличение до 1500 крат, латеральное разрешение до 0,35 мкм.
- Категория:
- Производитель: ADF
- Метка: Микроскопы ADF,E300M
- Тип: Прямые микроскопы
Описание
ADF E300M — научно-исследовательская система для микроскопии отраженного и проходящего света
Бескомпромиссная система ADF E300M с план полу-апохроматическими объективами для работы в светлом и темном поле. Жесткий устойчивый штатив, галогенный осветитель 100Вт, эргономичный наклонный тубус с полем зрения до FN 26.5. Подключив к микроскопу камеру ADF PRO20, вы получите высочайшее разрешение до 0,35 мкм в латеральной плоскости в любом режиме наблюдения.
Для изучения декорпусированных изделий необходимы объективы, сочетающие в себе большое рабочее расстояние и высокое разрешение. Микроскоп ADF E300M реализует все возможные методики контрастирования в том числе светлое поле, темное поле, дифференциально-интерференционый контраст и поляризацию.
Микроскоп обеспечивает возможность изучения объектов при увеличении 500 крат с рабочим расстоянием более 7 мм. Корпус больше не будет являться помехой для детальной инспекции и анализа чипа. Контроль пайки, контроль отдельных чипов и фотошаблонов, инспекция 4” кремниевых пластин — все это задачи, с легкостью решаемые на микроскопе ADF E300M.
- Увеличение до 1500 крат
- Работа в отраженном и проходящем свете
- Светлое и темное поле
- ДИК и поляризация
- Эргономичные наклонные тубусы
- Окуляры с широким полем зрения FN26
По требованию пользователя микроскоп может быть внесен в реестр СИ в составе программно-аппаратного комплекса анализа изображений.
Светлое поле
Микроскоп ADF E300M позволяет проводить детальное изучение структуры и топологии, контроль, измерения.
 элемент микроэлектроники в светлом поле |
 светлое поле, отраженный свет |
 светлое поле |
 светлое поле, проходящий свет |
Предельное разрешение, достижимое в светлом поле с использованием план полу-апохроматических объективов составляет 0,3 мкм при увеличении 1000 крат. При необходимости система может быть укомплектована инфракрасной оптикой для работы в ИК диапазоне, в том числе для получения качественных изображений фильтров, и структуры слоев полупроводниковых элементов.
Темное поле
Микроскоп ADF E300M позволяет проводить контроль дефектов, подчеркивание границ, царапин и микронеровностей
 темное поле |
Темное поле — незаменимая методика работы для контроля микроэлектронных компонентов. Дефекты поверхности визуализируются предельно четко, качественная полу-апохроматическая оптика дает высочайшее разрешение детализации в темном поле. Галогенный осветитель 100Вт является одним из самых ярких источников света. Это требуется при работе в темном поле и поляризации. |
Поляризация и ДИК
Микроскоп ADF E300M позволяет проводить наблюдение объема, рельефа и дефектов не видимых в светлом и темном поле
 |
 |
 |
Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК) — особая методика, которая позволяет увидеть рельеф поверхности и превращает любые изменения рельефа в изменение цвета. Контактные площадки, изменение толщины слоя покрытия, дефекты поверхности и микронеровности, невидимые в светлом поле, прекрасно визуализируются в дифференциальном контрасте. Один слайдер работает со всеми объективами. Его более точную настройку можно осуществить поворотом призмы.
 |
 |
 |
| Установленные на производстве микроскопы ADF E300M | ||
Характеристики
| Модель | ADF E300М |
| Оптическая система | Оптическая система с коррекцией на бесконечность. |
| Освещение | Отраженный свет, проходящий свет – галогенный осветитель (12В 100Вт) с регулировкой полевой и апертурной диафрагмы. Встроенная система освещения с возможностью настройки по Келлеру. Адаптер питания 100–120 В/22O–240 В ~ 0,85/0,45 А, 50/60 Гц |
| Фокусировка | Механическая, с помощью коаксиального винта фокусировки Шаг микровинта 2 мкм/деление. Диапазон полного хода: 28 мм Стопорный винт механизма фокусировки Винт фокусировки расположен по обеим сторонам микроскопа Настройка усилия на винте грубой фокусировки |
| Револьвер | Револьвер с фиксацией для пяти, шести или семи объективов (со слотом ДИК) |
| Объективы | План ахроматические, полуапохроматические или полуапохроматические с большим рабочим расстоянием (2х, 5х, 10х, 20х, 50х, 100х) |
| Предметный стол | Механический стол для отражённого и проходящего света Диапазон перемещения: 102 мм (X) x 105 мм (Y), Размер: 4 дюйма Эргономичные прорезиненные ручки управления |
| Тринокулярный тубус | Линейное поле FN 23, FN 25 или FN 26.5 Угол наклона окулярных трубок 5-35° или 30° Диапазон регулировки межзрачкового расстояния 50–76 ммДеление двух или трехпозиционное 50:50/100:0/0:100 |
| Конденсор | Тип: Конденсор Аббе, со встроенным фильтром дневного света, числовая апертура 0,9 с откидной линзой. Встроенная апертурная ирисовая диафрагма |
| Размеры и масса | 250 (Ширина) X 472(Высота) X 463 (Глубина) мм; приблизительно 12 кг |
