Olympus MX51, инспекционный микроскоп для микроэлектроники

Инспекционный микроскоп Olympus MX51 — механический инспекционный микроскоп для микроэлектроники со специальным столом для кремниевых пластин или фотошаблонов. Работа в проходящем и отраженном свете, поляризация и DIC.

• Отраженный свет, светлое/темное поле, ДИК и поляризация
• Проходящий свет и флуоресценция
• Тубус и окуляры с полем до FN26,5
• Источник света – галогенная лампа 100Вт. Разрешение микроскопа до 0,3 мкм по XY
• Объективы: поддерживает любые объективы из каталога Olympus UIS2.
  В базовой конфигурации 5х, 10х, 20х, 50х, 100х. Доступен объектив 150х NA 0.9
• Револьверное устройство от пяти позиций, опционально моторизованные компоненты.
• Стол микроскопа с держателем кремниевых пластин до 8″

Микроскоп создан для работы с кремниевыми пластинами и фотошаблонами.
От стандартного прямого микроскопа для материаловедения его отличают:

• Увеличенный предметный стол
• Повышенная жесткость штатива
• Мощный источник отраженного света
• Программное обеспечение для проведения измерений

Инспекционный микроскоп Olympus MX51 — максимум возможностей при ограниченном бюджете

Компания Olympus предлагает линейку инспекционных микроскопов серии MX, созданных для работы с кремниевыми пластинами и фотошаблонами. Рассмотрим основные отличия инспекционного микроскопа для микроэлектроники Olympus MX51 от стандартного прямого микроскопа для материаловедения (к примеру, Olympus BX51).

• Увеличенный предметный стол со специальным держателем для кремниевых пластин или фотошаблонов.
  При работе с кремниевыми пластинами очень важно иметь возможность осуществлять быстрые перемещения по образцу в поисках необходимого кристалла. Микроскоп Olympus MX51 оборудован столом со специальным приводом быстрого ручного перемещения, а также держателем для кремниевых пластин до 8″.
• Повышенная жесткость штатива.
  Инспекционный микроскоп Olympus MX51 позволяет изучать кремниевые пластины диаметром до 200мм, при этом штатив микроскопа обладает большим консольным вылетом для обеспечения доступа к крайним кристаллам на пластине. Повышенная жесткость штатива нивелирует большой консольный вылет опоры тубуса, так как при работе с объективами 50, 100 и 150х важно обеспечить неподвижность оптической системы относительно объекта исследования.
• Мощный источник отраженного света.
  При работе с кремниевыми пластинами часто возникает необходимость работы в темном поле и поляризации. Для этих методик контрастирования необходим мощный источник отраженного света. В данном случае, микроскоп Olympus MX51 оборудован галогенным источником света мощностью 100Вт.
• Программное обеспечение для проведения измерений.
  Инспекционный микроскоп в одинаковой степени является как устройством визуального контроля так и измерительной станцией. Программное обеспечение Olympus Stream Start позволяет проводить измерения, анализировать, редактировать и сохранять изображения с цифровой камеры. Это очень эффективное и относительно недорогое решение для проведения контроля и измерения в диапазоне от десятых долей микрона до десятых долей миллиметра.

Микроскоп Olympus MX51 c латеральным разрешение 300нм – оптический предел микроскопии видимого света.

Микроскоп Olympus МX51 имеет возможность установки объективов серии MPLFLN-BD. Эти объективы предназначены для работы в темном и светлом поле, флуоресценции, поляризации и дифференциально-интерференционном контрасте.
Объектив MPLFLN150xBD – высокоразрешающий объектив с увеличением 150х, числовой апертурой NA0,9 и рабочим расстоянием 1 мм позволяет достичь поля зрения FN26.5 (при использовании соответствующего тубуса и окуляров). Прекрасный выбор для продуктивного анализа кремниевых пластин с топологией менее 5 мкм.

Аксессуары и дополнительное оборудование.

Микроскопы Olympus серии MX51/MX61 имеют ряд аксессуаров для достижения максимального комфорта работы. Среди них держатели кремниевых пластин, и прозрачные столы для фотошаблонов, позволяющие контролировать положение образца во время исследования и снижающие риск повреждения образца при работе на микроскопе.

1 – Стеклянная вставка в стол для работы с фотошаблонами; 2 – металлический столик для работы с непрозрачными образцами; 3 – опорный подшипник для установки площадок 7-9; 4 – компактный стол U-SIC4R2/L2; 5 – металлическая плита для стола U-SIC4; 6 – опорный подшипник для стола U-SIC4; 7 – держатель кремниевых пластин 3”-4”; 8 – держатель кремниевых пластин 4”-5”; 9 – держатель кремниевых пластин 5”-6”;