Каталог товаров
Заказать звонок
Каталог
Артикул: Olympus MX63

Микроскопическая система Olympus MX63

Микроскопическая система Olympus MX63 предоставляет собой высокое качество изображений при исследовании полупроводниковых пластин до 300 мм, плоскопанельных дисплеев, печатных плат и прочих больших выборок. Эргономика, простота эксплуатации, функциональность, модульная платформа

Уточнить стоимость Протестировать

Описание

Olympus MX63 современный инспекционный метод визуализации

Микроскопическая система Olympus MX63 предоставляет высокое качество изображений при исследовании полупроводниковых пластин до 300 мм, плоскопанельных дисплеев, печатных плат и прочих больших выборок. Это эргономичный и простой в эксплуатации микроскоп, имеющий модульную конструкцию, что позволяет достичь оптимальных условий исследования для различных применений.

Функциональность

Усовершенствованные инструменты анализа.
Различные функциональные возможности оборудования серии MX63 предоставляют четкие, резкие изображения, с помощью которых пользователь может надежно определить дефекты своих образцов. Новые технологии освещения и опции визуализации обеспечивают пользователю больше инструментов для оценки образцов и регистрации обнаруженных несоответствий.

Невидимое становится видимым: наблюдение и сбор данных с помощью функции MIX.
Технология наблюдения MIX позволяет получить уникальные изображения микроскопии путем комбинации метода темного поля и других методов (светлое поле, флуоресценция или поляризация). Наблюдение в режиме MIX обеспечивает пользователю возможность обнаружить дефекты, которые сложны для определения с помощью обычного микроскопа. Круговая светодиодная лампа, которая используется для метода темного поля, обладает функцией направленного темного поля – в данный момент времени освещается только один участок. Это снижает ореолообразование вокруг образца и помогает рассмотреть текстуру поверхности.

Микроскопическая система Olympus MX63

Усовершенствованная конструкция для обеспечения соответствия нормам чистого помещения.
Оборудование серии MX63 рассчитано на эксплуатацию в условиях чистого помещения и оснащено функциями, позволяющими снизить риск заражения и повреждения образцов. Эргономичная конструкция системы обеспечивает комфорт пользователя даже при длительной работе. Olympus MX63 соответствует международным требованиям и стандартам, включая нормы SEMI S2/S8, CE и UL.

Быстрый контроль в условиях чистых помещений.
Оборудование серии MX63 обеспечивает контроль пластин с защитой от загрязнений. Все приводные компоненты заключены в защищенные корпусы; для рамы микроскопа, тубусов, защиты от дыхания и других деталей применяется антистатическая обработка. Скорость вращения и уровень безопасности приводных головок выше, чем у головок с ручным вращением, что снижает время простоя между инспекциями, устраняя необходимость касания пластины оператором и снижая вероятность загрязнения.

Конструкция системы создана для эффективного наблюдения.
Столик XY предназначен для работы в режиме грубой и тонкой обработки благодаря сочетанию встроенной муфты и узлов XY. Строение столика позволяет повысить эффективность наблюдения даже крупных образцов, например, 300-мм пластин. Наклонный тубус с возможностью телескопического удлинения дает оператору возможность расположиться в удобной для работы позе.

Совместимость со всеми размерами пластин.
Система подходит для работы с различными типами держателей пластин 150–200 мм и 200–300 мм и стеклянными пластинами. Если на производстве размер пластины будет изменен, раму микроскопа можно заменить без больших финансовых затрат. В рамках оборудования Olympus MX63 могут использоваться различные типы столиков для крепления пластин с размерами 75, 100, 125 и 150 мм на инспекционной линии.

Простота эксплуатации

Интуитивное управление микроскопом: удобство и простота использования.
Простые элементы управления облегчают конфигурацию и вызов настроек микроскопа.

Быстрая настройка фокуса.
Использование средств вспомогательной фокусировки в оптическом тракте дает возможность легко и правильно настраивать фокус на образцах с низкой контрастностью, таких как полупроводниковые пластины без покрытия. Фокусировка на сетке в фокальной плоскости облегчает настройку фокуса для всего образца.

Менеджер интенсивности света и автоматическое регулирование диафрагмы.
При использовании обычных микроскопов пользователям приходится регулировать интенсивность освещения и диафрагму для каждого наблюдения. Olympus MX63 позволяет оператору настроить интенсивность освещения и характеристики диафрагмы при оптическом увеличении и изменении метода наблюдения. Эти настройки легко восстановить, что экономит время и повышает качество изображения.

Эргономичные элементы управления для удобства работы.
Элементы управления для замены объектива и настройки диафрагмы расположены в нижней передней части микроскопа, что позволяет оператору продолжать наблюдение, не отпуская ручку фокусировки и не отводя глаз от окуляров.

Совершенная оптика и цифровые технологии для высокоточного контроля

Компания Olympus, специализирующаяся в области разработки высококачественных оптических приборов и современных цифровых технологий получения изображений, гарантирует исключительное качество производимых оптических элементов и высокую точность измерения.

Исключительные оптические характеристики, контроль аберрации волнового фронта.
Оптические характеристики объективов напрямую влияют на качество изображения и результаты анализа. Объективы Olympus UIS2 с большим коэффициентом увеличения минимизируют аберрации волнового фронта, обеспечивая надежность результатов исследования.

Ровная цветовая температура: белая светодиодная подсветка высокой интенсивности.
Olympus MX63 использует белую LED-подсветку высокой интенсивности для отраженного и проходящего света. LED обеспечивает ровную цветовую температуру, независимо от интенсивности, для достижения высокого качества изображения и точной передачи цвета. LED – эффективная и долговечная подсветка, которая идеально подходит для области материаловедения.

Применение

Микроскопия отраженного света применяется в самых разных отраслях промышленности. Представляем лишь несколько примеров результатов, которых можно добиться при использовании различных методов наблюдения.

Дифференциальная интерференционно-контрастная методика (DIC) характеризуется тем, что высота образца, которая как правило не отражается при исследовании светлого поля, доступна для наблюдения как рельеф, аналогично трехмерному изображению с повышенной контрастностью. Такая технология идеально подходит для контроля образцов с очень незначительными различиями по высоте, например, магнитных головок, жестких дисков и отполированных полупроводниковых пластин.

Микроскопическая система Olympus MX63

Темное поле используется для улавливания рассеянного или преломленного света, исходящего от образца. Поскольку такой свет отражают только неплоские объекты, этот метод позволяет четко определить дефекты. Инспекторы могут зарегистрировать мельчайшие несоответствия. Технология темного поля идеально подходит для обнаружения небольших царапин и изъянов на образце, а также исследования образцов с зеркальной поверхностью, в том числе полупроводниковых пластин.

Микроскопическая система Olympus MX63

Эта техника используется для образцов, которые флуоресцируют (излучают свет с другой длиной волны) при освещении с помощью специально разработанного фильтровального куба, который можно выбрать для определенных типов применения. Он подходит для исследования загрязнений полупроводниковых пластин, остатков фоторезиста, а также обнаружения трещин при использовании флуоресцентного красителя.

Микроскопическая система Olympus MX63

Такой метод наблюдения подходит для прозрачных образцов, таких как светодиоды, пластиковые и стеклянные материалы.

Микроскопическая система Olympus MX63

Дифференциальная интерференционно-контрастная методика (DIC) характеризуется тем, что высота образца, которая как правило не отражается при исследовании светлого поля, доступна для наблюдения как рельеф, аналогично трехмерному изображению с повышенной контрастностью. Такая технология идеально подходит для контроля образцов с очень незначительными различиями по высоте, например, магнитных головок, жестких дисков и отполированных полупроводниковых пластин.

Микроскопическая система Olympus MX63

Наблюдение в поляризованном свете позволяют четко определить текстуру материала и состояние кристалла. Этот метод подходит для контроля пластин и светодиодных структур.

Микроскопическая система Olympus MX63

Наблюдение в ИК режиме используется для неразрушающего контроля дефектов ИС и других электронных устройств, изготовленных из кремния или стекла, которые легко проводят свет с инфракрасной длиной волны.

Модульная конструкция

Полностью настраиваемый

Оборудование серии MX63 предоставляет оператору возможность выбора оптических компонентов, исходя из типа наблюдения и требований контроля. Система рассчитана на использование любых методов наблюдения. Пользователи могут выбрать любой из представленных пакетов OLYMPUS Stream под конкретные задачи контроля и анализа.

Две системы для контроля образцов различных размеров

Olympus MX63 используется для контроля пластин диаметром до 200 мм, тогда как MX63L позволяет исследовать пластины до 300 мм, занимая при этом такую же площадь, как и MX63. Модульная конструкция MX63 позволяет легко настроить микроскоп под конкретные нужды заказчика.

Совместимость с ИК-режимом
Наблюдения в инфракрасном свете проводятся с помощью ИК-объективов, которые позволяют операторам неразрушающим методом исследовать внутреннее пространство ИС, установленных на печатной плате, благодаря свойствам кремния, который пропускает инфракрасный свет.
Доступны ИК объективы от 5X до 100X с коррекцией хроматической аберрации от видимого до ближнего инфракрасного диапазона длин волн.

Подключите камеру

Подключите к микроскопу цифровую камеру, например, ADF Ultra09. Получайте высококачественные изображения, проводите измерения, экспортируйте результаты измерений в электронную таблицу.

Характеристики

MX63 MX63L
Оптическая система Оптическая система UIS2 (система с коррекцией бесконечности)
Рама
микроскопа
Освещение отраженным
светом
(FN 26,5)
Белый светодиод (с регулировкой интенсивности света) 12 В галогенная лампа на 100 Вт, ртутная лампа на 100 Вт
Ручное переключение светлое поле/темное поле/ зеркальный куб. (Зеркальный куб — опциональная функция)
3-позиционное ручное переключение зеркального блока
Встроенная приводная диафрагма (предварительная настройка каждого объектива, автоматическое полное раскрытия для метода темного поля)
Режим наблюдения: светлое поле, темное поле, дифференциальный интерференционно-контрастный (DIC)*1, простая поляризация*1, флуоресценция*1,
инфракрасный*1 и наблюдение MIX (4-направленное темное поле)1 дополнительный зеркальный куб, 2 требуется конфигурация наблюдения MIX.
Освещение проходящим
светом
(FN 26,5)
Требуется блок освещения проходящим светом MX-TILLA или MX-TILLB.
Блок освещения проходящим светом с конденсатором (NA 0,5) и диафрагмой: MX-TILLA
Блок освещения проходящим светом с конденсатором (NA 0,6), диафрагмой и полевой диафрагмой: MX-TILLB
Источник освещения: LG-PS2 (галогенная лампа 12 В, 100 Вт) Световод: LG-SF
Режим наблюдения: светлое поле, простая поляризация
Электрическая система Освещение отраженным светом
Встроенный источник питания светодиода для освещения отраженным светом
Переключатель интенсивности освещения с плавной регулировкой
Номинальные параметры на входе: 100-120 В/220-240 В перем. тока 1,9/0,9 А, 50Гц/60Гц
KL1600LED-2: Номинальные параметры на входе 90-264 В, Макс. потребление 37 В·А, 47-63 Гц
KL2500LED: Номинальные параметры на входе 90-264 В, Макс. потребление 80 В·А, 47-63 Гц
KL1500HAL: Номинальные параметры на входе 100-240 В, Макс. потребление 180 В·А, 50-60 Гц
Освещение проходящим светом
Источник освещения LG-PS2 (12 В 100 Вт)
Переключатель интенсивности освещения с плавной регулировкой
Номинальные параметры на входе: 100-120 В/220-240 В перем. тока 3,0/1,8 А, 50 Гц/60 Гц
Внешний интерфейс
Коннектор приводной револьверной головки x1, коннектор ручки (BX3M-HS) x1, коннектор (U-HSEXP) ручки x1, коннектор слайдера MIX (U-MIXR) x1, коннектор RS232 x1, коннектор USB2.0 x1
Фокусировка Величина хода 32 мм
Точная величина хода за один оборот: 100 мкм
Минимальная градуировка: 1 мкм
Верхний стопор и регулировка вращения для рукоятки грубой настройки
Максимальная нагрузка по массе
(включая столик и держатель)
8 кг 15 кг
Тубус для микроскопии Широкоугольный
(FN 22)
Электр. и тринокулярный: U-ETR4
Электр., наклонный и тринокулярный: U-TTR-2
Инвертированный и тринокулярный: U-TR30-2, U-TR30IR (для ИК наблюдений)
Инвертированный и бинокулярный: U-BI30-2
Инвертированный, наклонный и тринокулярный: U-TBI30
Ультраширокоугольный
(FN 26,5)
Электр., наклонный и тринокулярный: MX-SWETTR (переключение оптического тракта 100% (окуляр) : 0 (камера) или 0 : 100%)
Электр., наклонный и тринокулярный: U-SWETTR (ереключение оптического тракта 100% (окуляр): 0 (камера) или 20% : 80%)
Инвертированный и тринокулярный: U-SWTR-3
Приводная головка Светлое поле
Приводная шестикратная головка с пазом для слайдера для DIC: U-D6REMC
Приводная отцентрированная пятикратная головка с пазом для слайдера для DIC: U-P5REMC
Светлое поле и темное поле
Приводная шестикратная головка с пазом для слайдера для DIC: U-D6BDREMC
Приводная шестикратная головка с пазом для слайдера для DIC: U-D5BDREMC
Приводная отцентрированная пятикратная головка с пазом для слайдера для DIC: U-P5BDREMC
Столик (X × Y) Коаксиальная правая рукоятка со встроенной муфтой: MX-SIC8R
Величина хода: 210 x 210 мм
Область освещения проходящим светом: 189 x 189 мм
Коаксиальная правая рукоятка со встроенной муфтой:
MX-SIC6R2
Величина хода: 158 x 158 мм
(используется только для отраженного света)
Коаксиальная правая рукоятка со встроенной муфтой:
MX-SIC1412R2
Величина хода: 356 x 305 мм
Область освещения проходящим светом: 356 x 284 мм
Вес Прибл. 35,6 кг (рама микроскопа 26 кг) Прибл. 44 кг (рама микроскопа 28,5 кг)
Условия эксплуатации Использование внутри помещения
Температура окружающей среды: от 10 до 35 °C (от 50 до 95 °F)
Максимальная относительная влажность: 80 % для температур до 31 °C (88 °F) (без конденсации) При температурах выше 31 °C (88 °F) относительная влажность линейно снижается до 70 % при 34 °C (93 °F), 60 % при 37 °C (99 °F) и 50 % при 40 °C (104 °F).
Колебания напряжения питания: ±10 %

Документы для

Подберем лабораторное оборудование для работы
Подберем лабораторное оборудование для работы
Закажите лабораторное оборудование указав контактные данные и мы с вами свяжемся в ближайшее время.

Этот сайт использует cookies.